1.工作行程: X軸: 600mmY軸:600mm,Z軸:400mm 2.機台尺寸約1400(長)x1000(寬)x1800(高) mm(含腳架高約2300mm) 3.機台重量約1200kg(含腳架) 4.機台精度: 3 L/200mm 8.機構表面處理:多層次塗裝烤漆/鋁合金部份:航太鋁合金製造 9.三軸採用英國RENISHAW0.001mm精密光學尺 10.驅勸方式:空氣軸承 11.三軸直線運動由空氣軸承導引 12.日本PISCO三點組合空氣濾清器 18.英國RENISHAW1mm.2mm.3mm測針各一支 19.重覆精度:0.003mm 20.量測精度E=3.5 (L/200)μm (ISO 10360-2) 21.校正球一個 技术参数: ˉ采用全花岗石底座、支柱,机械系统的稳定性 ˉ行程范围:X轴------1000mmY轴------1200 mm ˉZ轴------400 mmT轴------360o ˉ传动方式:高精密滚珠导轨 高精密滚珠丝杠 步进电机 ˉ图像采集系统:高速图像采集卡 镜头 低照度高分辨率CCD ˉ激光系统:650 nm波长激光,较大功率20 mW,连续可调 ˉ机械精度:X、Y、Z三轴综合精度分别≤0.05 mm ˉ机台重复定位精度≤0.005 mm ˉ机台:高精度花岗岩平台,机台承重